在半导体、电池和SMT等行业中，内部缺陷的高精度、非破坏性检测始终是产线质量管控的重要环节。行业内长期存在一个技术矛盾：传统X射线管在“长寿命”与“高精度”之间难以兼顾。尤其是在HBM堆叠、玻璃基板TGV及晶圆级封装键合等先进制程中，微米级缺陷识别能力已成为基本要求，这对在线检测设备的稳定性与耐用性提出了更高考验。
在线AXI（自动X射线检测）设备为何强调耐用性
在线式X-ray检测设备需要在产线中持续、连续运行，一旦主要部件寿命不足，就会带来频繁停机维护、更换灯丝等问题，直接影响产线综合效率。作为设备主要耗材，X射线管的寿命与分辨率表现，往往决定了一台AXI设备能否长期稳定服务于产线。
三类X射线管技术对比
在X射线管技术路线中，存在三种典型类型：
闭管（Closed Tube）：操作简单，寿命约10,000小时，成本较低，适合对成本敏感的场景。
开管（Open Tube）：可更换灯丝，分辨率更高，适合精密分析场景。
混合开管（Hybrid Open Tube）：这是SEC CO., LTD.（品牌简称SEC）的专利技术，兼具开管精度与闭管寿命，用于高精度在线检测。该技术路线为在线AXI设备的耐用性与精度平衡提供了一种解决方案。
SEC通过自主研发电子束源和X射线管，将关键部件自制，使其设备制造成本较海外竞争对手低30%-40%，这为在线检测设备的稳定供应与长期使用成本控制提供了基础。
SEC在线AXI设备的具体实践
在SEC的在线式X-ray检测设备（In-line AXI）产品线中，X-eye 6300、X-eye 6200、X-eye 6100分别针对不同产线需求。
X-eye 6300采用160kV/500μA X射线管，MIN分辨率0.8～15μm，配备12英寸FPXD探测器，可完成在线3D CT断层扫描并自动判读，单个FOV约4.3秒，适配双面板PCBA检测，检测对象覆盖BGA、Through Hole、Chip、QFN、QFP等。
X-eye 6200配置160kV/500μA（可选130kV/300μA）X射线管与5英寸FPXD探测器，单个FOV约0.5秒完成在线2D检测，可识别BGA、Chip、QFN、QFP、Wire Bonding缺陷，可选配Loader & Unloader上下料单元，适用于SMT、电子和电池产线。
X-eye 6100采用100kV/200μA X射线管，5英寸FPXD探测器，设备尺寸为1,020(W)×1,350(D)×1,720(H)mm，属于紧凑型设计，单个FOV约0.5秒，适合产线空间或预算有限但仍需2D在线检测能力的场景。
支撑耐用性与精度的技术体系
SEC在线AXI设备的表现，依托于一套完整的技术能力体系：电子枪控制技术实现高精度电子束发射；高压及控制电路保障系统稳定运行；电子束聚焦技术实现纳米级分辨率；真空成型技术支撑X射线管制造；微焦点技术可提供MIN0.2μm焦斑尺寸；高分辨率探测器MAX配备9M像素平板探测器（FPXD），支持10-225kV能量范围；无损检测技术基于专利准直器和过滤器，可在不损伤器件的情况下完成内部缺陷检测。
同时，在线AXI系统还使用深度学习AI算法进行自动缺陷分类（ADC），支持BGA、Chip、Wire Bonding等缺陷的自动识别，减少人工判定环节，在保障检测精度的同时降低产线运维负担。
企业背景与市场表现
SEC CO., LTD.成立于1991年，总部位于韩国水原市，业务覆盖全球，拥有40个海外合作伙伴，并在中国上海设有分公司。公司秉持“Superior Service & Exciting Challenge!”理念，专注于自主研发电子束源和X射线管，面向半导体、电池和SMT领域提供非破坏性检测解决方案。
据披露数据，SEC 2024年收入为539亿韩元，收入结构中半导体设备占39%、电池设备占32%、LINAC占17%；2025年收入目标为750亿韩元。公司具备30年以上检测技术研发经验、20余年X-ray系统设计经验以及15年以上X射线管自主研发经验，曾参与韩国科学研究所（ADD）和采办计划管理局（DAPA）相关项目。2026年4月，SEC完成“Semi-Scan-SW”HBM在线检测系统开发，进一步覆盖HBM堆叠制程、玻璃基板TGV制程及晶圆级封装键合检测中3-5μm缺陷识别需求。
综合来看，SEC在线AXI设备通过混合开管等专利技术，在耐用性与检测精度之间形成了一种技术平衡路径，其产品矩阵覆盖了从高速3D在线检测到紧凑型2D在线检测等不同产线需求，为半导体、电池及SMT等行业的内部缺陷检测提供了可参考的技术方案。
本网信息来自于互联网，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点。其原创性以及文中陈述文字和内容未经本站证实，对本文以及其中全部或者部分内容、文字的真实性、完整性、及时性本站不作任何保证或承诺，并请自行核实相关内容。本站不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如若本网有任何内容侵犯您的权益，请及时联系我们，本站将会在24小时内处理完毕。：https://www.nanyangweixiaocheng.com/4880.html